LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀 

萊伯泰科是一家專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型公司，王娟現(xiàn)擔(dān)任公司質(zhì)譜研發(fā)部高級產(chǎn)品經(jīng)理。她曾在多家跨國儀器公司從事質(zhì)譜產(chǎn)品的技術(shù)支持、產(chǎn)品開發(fā)、行業(yè)方案制定等工作，具有豐富的質(zhì)譜產(chǎn)品開發(fā)和應(yīng)用工作經(jīng)驗(yàn)。加入萊伯泰科4年多以來，王娟作為主要項(xiàng)目參與者，與團(tuán)隊(duì)成員一起攻關(guān)研發(fā)了單四極桿質(zhì)譜、串聯(lián)三重四極桿質(zhì)譜等。

在2023年度中國檢驗(yàn)檢測學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎獲獎評選中，萊伯泰科憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項(xiàng)目》榮獲科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎，這一項(xiàng)目的帶頭人正是王娟。

過去，我國半導(dǎo)體行業(yè)中高端質(zhì)譜儀完全依賴進(jìn)口。王娟團(tuán)隊(duì)從2019年開始專攻電感耦合等離子體質(zhì)譜的研發(fā)，歷經(jīng)艱辛終于成功推出LabMS 3000單四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。隨后，團(tuán)隊(duì)又開展了電感耦合等離子體串聯(lián)四極桿質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體四極桿-飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的研發(fā)，并于2023年推出深度進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)的LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四極桿質(zhì)譜儀，打破了國外公司在該市場一家獨(dú)大的局面。

王娟（右）和團(tuán)隊(duì)成員溝通設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)

國產(chǎn)質(zhì)譜儀能夠與進(jìn)口設(shè)備抗衡，關(guān)鍵在于自主創(chuàng)新。王娟團(tuán)隊(duì)在LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四極桿質(zhì)譜儀的軟硬件設(shè)計(jì)上進(jìn)行了大膽突破，使其擁有了更高的靈敏度、更低的檢出限和更快的分析速度。該產(chǎn)品符合SEMI S2認(rèn)證，滿足了半導(dǎo)體制程高級別制造客戶的要求。

談及研發(fā)國產(chǎn)質(zhì)譜儀的初心，王娟表示，團(tuán)隊(duì)?wèi)汛е姑校Ｍ麨閲a(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控盡一份力，在壓力和迫切感之下，團(tuán)隊(duì)成員不斷學(xué)習(xí)、提高自己的能力，與產(chǎn)品共同成長。

目前，萊伯泰科與國內(nèi)頭部晶圓企業(yè)建立了合作關(guān)系，計(jì)劃將LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四極桿質(zhì)譜儀輻射到半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)單位。王娟表示，團(tuán)隊(duì)將針對行業(yè)特點(diǎn)開發(fā)濕電子化學(xué)品、實(shí)時(shí)在線晶圓中超痕量元素等分析方法，為半導(dǎo)體制程中的質(zhì)量控制提供技術(shù)支撐，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。

王娟（右二）和團(tuán)隊(duì)成員討論技術(shù)難點(diǎn)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)譜檢測需求的不斷提升，國產(chǎn)質(zhì)譜儀的市場規(guī)模也將持續(xù)擴(kuò)大。王娟充滿信心地說：“萊伯泰科質(zhì)譜研發(fā)團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)加大研發(fā)投入，提升國產(chǎn)高端串聯(lián)質(zhì)譜儀器的性能，為半導(dǎo)體行業(yè)提供更全面、高效的解決方案，鞏固國產(chǎn)質(zhì)譜儀在高端檢測領(lǐng)域的地位。” 

在萊伯泰科和王娟帶領(lǐng)的質(zhì)譜研發(fā)團(tuán)隊(duì)不懈努力下，國產(chǎn)質(zhì)譜儀正逐漸引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展，成為推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的力量。